XPS-7半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

型    號

XPS-7

檢測原理

定電位電解式

檢測氣體對象

半導(dǎo)體材料氣體

測量范圍

根據(jù)規(guī)格

分 解 能

全量程的百分之一表示

指示精度

FS±10%以內(nèi)

報警模式

2段報警方式

報警方式

蜂鳴器(斷續(xù)音)、報警燈閃爍

應(yīng)答時間

60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答)

電    源

5號堿性干電池4節(jié)或AC專用變壓器

電池使用時間

連續(xù)12小時以上（使用堿性干電池?zé)o報警、20℃時）

外型尺寸

W62×H150×D128mm(突出部分除外)

檢測方式

泵吸引式

使用溫度范圍

0℃～40℃

重    量

約1.3kg

附    件

肩背皮帶、5號堿性干電池4節(jié)、過濾紙2張

選 購 件

AC專用變壓器、傳感器專用通電臺、數(shù)據(jù)收集配套元件

對象氣體一覽表

型號

氣體

F.S

型號

氣體

F.S

型號

氣體

F.S

XDS-7NH

NH3

100ppm

XDS-7GH

GeH4

1ppm

XDS-7HS

H2S

50ppm

XDS-7SH

SiH4

25ppm

XDS-7CL

CL2

5ppm

XDS-7CO

CO

250ppm

XDS-7DC

SiH2CL2

25ppm

XDS-7CF

CLF3

1ppm

XDS-7DS

Si2H6

25ppm

XDS-7AH

AsH3

250ppb

XDS-7HC

HCL

25ppm

XDS-7F2

F2

5ppm

XDS-7PH

PH3

1ppm

XDS-7HF

HF

10ppm

XDS-7OZ

O3

1ppm

XDS-7BH

B2H6

500ppb

XDS-7HB

HBr

10ppm

XDS-7SE

H2Se

250ppb

XDS-7NO

NO

100ppm